N 19-4/227
Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), международная науч.-техническая конф. (20 ; 2015 ; Москва).
Сборник научных трудов XX международной научно-технической конференции Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), XXVII международного симпозиума Тонкие пленки в электронике, VII международной научно-технической конференции Наноинженерия. - М. : МГТУ, 2015. - 329 с. : ил. - В надзаг.: Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана, ОАО ЦНИТИ "Техномаш". - Библиогр. в конце тр. - ISBN 978-5-7038-4242-3 : 300.00 р.ББК з844.13я431(0) + з844.1я431(0)
Рубрики: Пленки тонкие--Съезды, конференции, совещания
Микроэлектроника--Съезды, конференции, совещания
Дод.точки доступу:
Тонкие пленки в электронике, междунардный симп. (27 ; 2015 ; Москва); Наноинженерия, международная науч.-техническая конф. (7 ; 2015 ; Москва)
Примірників всього: 1
ХР (II) (1)
Свободны: ХР (II) (1)