W 170-8/233
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учеб-метод. пособие / М-во образования и науки РФ, Нац. исслед. технол. ун-т "МИСиС", Каф. технологии материалов электроники ; [О. И. Рабинович и др.]. - М. : МИСиС, 2015. - 88 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - 80.00 р.ББК В379.212.6я73-1 + З844.19-060.14я73-1
Рубрики: Эпитаксия
Пленки полупроводниковые
Дод.точки доступу:
Рабинович, Олег Игоревич; "МИСИС", нац. исследовательский технологический ун-т (Москва). Кафедра технологии материалов электроники
Примірників всього: 1
ХР (II) (1)
Свободны: ХР (II) (1)