N 19-7/293
Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), международная науч.-техническая конф. (21 ; 2016 ; Москва).
Сборник научных трудов XXI международной научно-технической конференции Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), XXVIII международного симпозиума Тонкие пленки в электронике, VIII международной научно-технической конференции Наноинженерия. - М. : МГТУ, 2016. - 399 с. : ил. - В надзаг.: Моск. гос. техн. ун-т им. Н. Э. Баумана, Центр. науч.-исслед. технол. ин-т "Техномаш", Технопарк АО "Гос. з-д "Пульсар". - Библиогр. в конце тр. - ISBN 978-5-7038-4552-3 : 300.00 р.ББК з844.13я431(0) + з844.1я431(0)
Рубрики: Пленки тонкие--Съезды, конференции, совещания
Микроэлектроника--Съезды, конференции, совещания
Дод.точки доступу:
Тонкие пленки в электронике, междунардный симп. (28 ; 2016 ; Москва); Наноинженерия, международная науч.-техническая конф. (8 ; 2016 ; Москва)
Примірників всього: 1
ХР (II) (1)
Свободны: ХР (II) (1)