W 173-2/233
Удовиченко, Сергей Юрьевич.
Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. Ю. Удовиченко ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Тюмен. гос. ун-т, Физ.-техн. ин-т. - Тюмень : Изд-во Тюмен. гос. ун-та, 2016. - 227 с. : ил. - Библиогр.: с. 224-227. - ISBN 978-5-400-01349-2 : 100.00 р.ББК з844.1-060.14
Рубрики: Плазменная технология
Микроэлектроника
Примірників всього: 1
ХР (II) (1)
Свободны: ХР (II) (1)