W 160-4/74
Берлин, Евгений Владимирович.
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. Берлин, Л. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010. - 527 с., [8] л. ил. : ил. ; 25 см. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-222-9 : 450.00 р.ББК з844.13-060.6
Рубрики: Плазменная технология
Пленки тонкие--Получение
Дод.точки доступу:
Сейдман, Лев Александрович
Примірників всього: 2
ХР (1), ЧЗ (1)
Свободны: ХР (1), ЧЗ (1)