W 162-7/174
Панфилов, Юрий Васильевич.
Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии : [учеб. пособие для вузов по направлению 152200 "Наноинженерия"] / Ю. В. Панфилов, К. М. Моисеев, В. П. Михайлов ; под ред. В. А. Шахнова. - М. : Изд-во МГТУ, 2011. - 191 с. : ил. ; 22 см. - (Библиотека "Наноинженерия" : в 17 кн. ; кн. 3) (Комплект учебно-методических комплексов дисциплин по тематическому направлению деятельности национальной нанотехнологической сети "Наноинженерия"). - Библиогр.: с. 167. - ISBN 978-5-7038-3494-7. - ISBN 978-5-7038-3509-8 : 140.00 р.ББК Ж600.9я73-1 + з844.15-060.6я73-1
Рубрики: Вакуумная техника
Микросхемы--Производство
Нанотехнологии
Дод.точки доступу:
Моисеев, Константин Михайлович; Михайлов, Валерий Павлович; Шахнов, Вадим Анатольевич \ред.\
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)