W 162-8/132
Неволин, Владимир Кириллович.
Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" / В. К. Неволин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - М. : МИЭТ, 2011. - 163 с. : ил. - (Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-7256-0650-8 : 80.00 р.ББК з844.1-06я73-1
Рубрики: Микроэлектронная аппаратура--Производство
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)