W 163-1/220
Голишников, Александр Анатольевич.
Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" / А. А. Голишников, М. Г. Путря ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - М. : МИЭТ, 2011. - 172 с. : ил. ; 21 см. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"). - Библиогр.: с. 167-169. - ISBN 978-5-7256-0656-0 : 140.00 р.ББК з844.15-060.14я73-1
Рубрики: Микросхемы--Производство
Плазменная технология
Дод.точки доступу:
Путря, Михаил Георгиевич
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)