N 18-4/107
Чернозубов, Юрий Сергеевич.
Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий : учеб. пособие для самостоят. работы студентов / Чернозубов Ю. С., Лемешко Н. В. ; Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т), Каф. "Радиоэлектрон. и телекоммуникац. устройства и системы". - Изд. 2-е, испр. и доп. - М. : МИЭМ, 2011. - 48 с. : ил. - Библиогр.: с. 48. - 500.00 р.ББК з844.1-06-5я73-1 + з844.1-07-5я73-1
Рубрики: Микроэлектронная аппаратура--Производство
Дод.точки доступу:
Лемешко, Николай Васильевич
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)