W 163-3/224
Неволин, Владимир Кириллович.
Учебное пособие по дисциплине "Зондовые методы создания структур наноэлектроники" / В. К. Неволин ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. исслед. ун-т "МИЭТ". - М. : МИЭТ, 2011. - 195 с. : ил. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"). - Библиогр.: с. 7-8, 185-191. - ISBN 978-5-7256-0662-1 : 80.00 р.ББК з844.1-06я73-1
Рубрики: Микроэлектронная аппаратура--Производство
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)