W 164-3/71 кн. 7
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : сер. из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - .
7 : Микроинженерия монокристаллического кремния / Н. Н. Балан, В. А. Васин, Е. Н. Ивашов, С. В. Степанчиков. - 2013. - 193 с. : ил. - Библиогр.: с. 162-190. - ISBN 978-5-905872-14-3 : 200.00 р.ББК з85я54(2) + Л438я54(2) + Л253.2я54(2)
Рубрики: Электронные приборы--Производство
Кристаллы--Рост
Кремний
Дод.точки доступу:
Балан, Никита Николаевич; Васин, Владимир Анатольевич; Ивашов, Евгений Николаевич; Степанчиков, Сергей Валентинович
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)