W 164-3/71 кн. 7, т. 2
Микро- и наноинженерия в электронном машиностроении : сер. из 7-ми моногр. - Ивантеевка : Изд-во НИИ предел. технологий, 2012 - .
7 : Микроинженерия монокристаллического кремния, т. 2 / К. Н. Андрианов, Н. Н. Балан, В. А. Васин и др. - 2013. - 219 с. : ил. - Библиогр.: с. 187-215. - ISBN 978-5-905872-15-0 : 200.00 р.ББК з85я54(2) + Л438я54(2) + Л253.2я54(2)
Рубрики: Электронные приборы--Производство
Кристаллы--Рост
Кремний
Дод.точки доступу:
Андрианов, Константин Николаевич; Балан, Никита Николаевич; Васин, Владимир Анатольевич; Ивашов, Евгений Николаевич; Степанчиков, Сергей Валентинович
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)