Ф 6-2/395
Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учеб. пособие / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики. - М. : МИРЭА, 2013. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-34. - ISBN 978-5-7339-0974-5 : 80.00 р.ББК з844.1-060.14-1с116я73-1
Рубрики: Плазменная технология
Микроэлектронная аппаратура--Производство
Дод.точки доступу:
Амиров, Ильдар Искандерович; Лукичев, Владимир Федорович; Мельников, Александр Александрович; Шумилов, Андрей Станиславович
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)