W 166-8/214
Пащенко, Александр Сергеевич.
Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике / А. С. Пащенко, П. С. Пляка, В. О. Пономаренко ; Рос. акад. наук, Юж. науч. центр. - Ростов н/Д : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. - На тит. л.: Юж. науч. центр Рос. акад. наук 10 лет. - Библиогр.: с. 168-175. - ISBN 978-5-4358-0057-9 : Б. ц. р.ББК з844.1-060.14
Рубрики: Микроэлектронная аппаратура--Производство
Плазменная технология
Дод.точки доступу:
Пляка, Павел Стефанович; Пономаренко, Валерий Олегович
Примірників всього: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)