W 168-3/134
Карасева, Татьяна Викторовна.
Размерная обработка кремния и оценка технологических погрешностей : [учеб. пособие для вузов по специальностям "Авиац. приборы и измерит.-вычисл. комплексы", "Информ.-измерит. техника и технологии"] / Т. В. Карасева ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Нижегор. гос. техн. ун-т им. Р. Е. Алексеева, Арзамас. политехн. ин-т (фил. НГТУ). - Н. Новгород : НГТУ, 2014. - 126 с. : ил. - Библиогр.: с. 111-112. - ISBN 978-5-502-00454-1 : 80.00 р.ББК з843.322.408я73-1
Рубрики: Кремний
Микроэлектроника
Примірників всього: 1
ХР (II) (1)
Свободны: ХР (II) (1)