W 168-4/117 ч. 1
Филимонова, Нина Ивановна
Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур: сканирующая зондовая микроскопия : [учеб. пособие] / Н. И. Филимонова, Б. Б. Кольцов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Новосиб. гос. техн. ун-т, [Фак. радиотехники и электроники]. - Новосибирск : Изд-во НГТУ, 2013 - .
Ч. 1. - 2013. - 131, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 132. - ISBN 978-5-7782-2158-1 : 80.00 р.ББК В338.28я73-1 + З844.1-01с341я73-1
Рубрики: Микроскопия
Микроэлектроника
Дод.точки доступу:
Кольцов, Борис Борисович
Примірників всього: 1
ХР (II) (1)
Свободны: ХР (II) (1)