Головна Спрощенний режим Опис
Авторизація
Прізвище
Пароль
 

Бази даних


Каталог книг- результати пошуку

Вид пошуку
Каталог книг
Каталог российских журналов
Каталог иностранных журналов
Зона пошуку

Для печати информации о книге отметьте ее галочкой и нажмите кнопку «печать»

Поисковый запрос: <.>A=Галперин, Вячеслав Александрович$<.>

Общее количество найденных документов: 1

1.
W 161-2/55

    Галперин, Вячеслав Александрович.
    Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие : [для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"] / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 160.00 р., 445.50 р.
ББК з844.1-060.14я73-1
Рубрики: Плазменная технология
   Микроэлектронная аппаратура--Производство


Дод.точки доступу:
Данилкин, Евгений Владимирович; Мочалов, Алексей Иванович; Тимошенков, С.П. \ред.\
Примірників всього: 2
ХР (1), ЧЗ (1)
Свободны: ХР (1), ЧЗ (1) Знайти схожі
Стандартний
Розширений
Професійний
Розподілений
За словником
ДРНТІ-навігатор
УДК-навігатор
ББК-навігатор
Тематичний навігатор
© Міжнародна Асоціація користувачів і розробників електронних бібліотек і нових інформаційних технологій
(Асоціація ЕБНІТ)