Низкотемпературная плазма : [в 20 т.]. - Новосибирск : Наука : Сиб. изд. фирма, 1990 - . [Т. 20] : Генерация низкотемпературной плазмы и плазменные технологии : проблемы и перспективы / [Даутов Г.Ю.: Тимошевский А.Н., Урюков Б.А. и др.; отв. ред. В.М. Фомин, И.М. Засыпкин; Рос. акад. наук, Сиб. отд-ние, ин-т теорет. и прикладной механики]. - 2004. - 464 с. : ил. - Библиогр.: с. 435-461. - ISBN 5-02-032087-0 : Б. ц. р.
Плазменные технологии в строительстве / Г. Г. Волокитин, Н. К. Скрипникова, А. М. Шиляев, В. В. Петроченко ; Федер. агентство по образованию, Том. гос. архитектур.-строит. ун-т. - Томск : Изд-во Том. гос. архитектур.-строит. ун-та, 2005. - 290 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 276-286. - ISBN 5-93057-149-X : Б. ц. р., Б.ц р.
Дод.точки доступу: Волокитин, Геннадий Георгиевич; Скрипникова, Нелли Карповна; Шиляев, Алексей Михайлович; Петроченко, Владимир Викторович
Примірників всього: 2 ХР (1), ЧЗ (1) Свободны: ХР (1), ЧЗ (1)
W 155-4/134
Абдуллин, Ильдар Шаукатович. Высокочастотная плазменная обработка в производстве обуви : теория и практика использования: монография / И. Ш. Абдуллин, Л. Ю. Махоткина ; Федер. агенство по образованию, Казан. гос. технол. ун-т. - Казань : [б. в.], 2006. - 344, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 331-344. - ISBN 5-7882-0325-2 : Б. ц. р.
Лисенков, Александр Аркадьевич. Вакуумно-дуговые устройства : учеб. пособие : [по направлению подгот. 140400 "Техн. физика"] / А. А. Лисенков, В. Я. Фролов. - СПб. : Изд-во Политехн. ун-та, 2008. - 247 с. : ил. ; 20 см. - (Инновационная образовательная программа Санкт-Петербургского государственного политехнического университета / Федер. агентство по образованию, С.-Петерб. гос. политехн. ун-т) (Приоритетный национальный проект "Образование"). - Библиогр.: с. 247. - ISBN 978-5-7422-2076-3 : 120.00 р.
Яфаров, Равиль Кяшафович. Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий / Р. К. Яфаров. - М. : Физматлит, 2009. - 216 с. : ил. ; 22 см. - Библиогр.: с. 205-216. - ISBN 978-5-9221-1150-8 : 100.00 р.
Берлин, Евгений Владимирович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии / Е. Берлин, Л. Сейдман. - М. : Техносфера, 2010. - 527 с., [8] л. ил. : ил. ; 25 см. - (Мир материалов и технологий). - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-94836-222-9 : 450.00 р.
Дод.точки доступу: Сейдман, Лев Александрович
Примірників всього: 2 ХР (1), ЧЗ (1) Свободны: ХР (1), ЧЗ (1)
W 161-2/55
Галперин, Вячеслав Александрович. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учеб. пособие : [для вузов по направлению подгот. 210100 "Электроника и микроэлектроника"] / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаб. знаний, 2010. - 283 с. : ил. ; 23 см. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 160.00 р., 445.50 р.
Сборник работ победителей конкурса студентов вузов по направлениям: лазерные и плазменные технологии, квантовая и атомная оптика, нанофотоника / М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию ; [под ред. А. Г. Григорьянца, И. Х. Исрафилова]. - Набережные Челны : Кам. гос. инженер.-экон. акад., 2009. - 360 с. : ил. ; 20 см. - Библиогр. в конце ст. - Алф. указ.: с. 360. - ISBN 978-5-9536-0202-0 : 160.00 р.
Дод.точки доступу: Григорьянц, Александр Григорьевич \ред.\; Исрафилов, И.Х. \ред.\; Российская Федерация. М-во образования и науки
Примірників всього: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1)
W 161-8/261 ч. 1 Каренгин, Александр Григорьевич Плазменные технологии переработки веществ : [учеб. пособие] / А. Г. Каренгин; Федер. агентство по образованию, Том. политех. ун-т. - Томск : Изд-во Том. политехн. ун-та, 2008 - . - (Приоритетные национальные проекты. "Образование") (Инновационная образовательная программа). Ч. 1. - 2008. - 106 с. : ил. - Библиогр.: с. 106. - ISBN 5-98298-301-2 : 50.00 р.
W 161-8/264 ч. 1 Мартыненко, Юрий Владимирович Плазменная нанотехнология : учеб. пособие / Ю. В. Мартыненко, А. А. Сковорода. - М. : Рос. ун-т дружбы народов, 2010 - . Ч. 1. - 2010. - 111 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-209-03528-2 : 50.00 р.
Голишников, Александр Анатольевич. Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" / А. А. Голишников, М. Г. Путря ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т). - М. : МИЭТ, 2011. - 172 с. : ил. ; 21 см. - (Учебно-методический комплекс для магистров. Направление "Наноэлектроника"). - Библиогр.: с. 167-169. - ISBN 978-5-7256-0656-0 : 140.00 р.
W 163-3/24 ч. 2 Каренгин, Александр Григорьевич Плазменные процессы и технологии : [учеб. пособие] / А. Г. Каренгин; Федер. агентство по образованию, Том. политех. ун-т. - Томск : Изд-во Том. политехн. ун-та, 2009 - . - (Приоритетные национальные проекты. "Образование") (Инновационная образовательная программа). Ч. 2. - 2009. - 143 с. : ил. - Библиогр.: с. 143. - 50.00 р.
Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : учеб. пособие / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Моск. гос. техн. ун-т радиотехники, электроники и автоматики. - М. : МИРЭА, 2013. - 36 с. : ил. - Библиогр.: с. 32-34. - ISBN 978-5-7339-0974-5 : 80.00 р.
Дод.точки доступу: Амиров, Ильдар Искандерович; Лукичев, Владимир Федорович; Мельников, Александр Александрович; Шумилов, Андрей Станиславович
Примірників всього: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1)
W 161-8/264 ч. 2 Мартыненко, Юрий Владимирович Плазменная нанотехнология : учеб. пособие / Ю. В. Мартыненко, А. А. Сковорода. - М. : Рос. ун-т дружбы народов, 2010 - . [Ч. 2]. - 2014. - 137, [2] с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - ISBN 978-5-209-05446-7 : 50.00 р.
Пащенко, Александр Сергеевич. Ионно-плазменные технологии в микро- и наноэлектронике / А. С. Пащенко, П. С. Пляка, В. О. Пономаренко ; Рос. акад. наук, Юж. науч. центр. - Ростов н/Д : Изд-во ЮНЦ РАН, 2013. - 175 с. : ил. - На тит. л.: Юж. науч. центр Рос. акад. наук 10 лет. - Библиогр.: с. 168-175. - ISBN 978-5-4358-0057-9 : Б. ц. р.
Дод.точки доступу: Пляка, Павел Стефанович; Пономаренко, Валерий Олегович
Примірників всього: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1)
W 166-9/214
Бородин, Валентин Иванович. Плазменные методы обработки и получения материалов : учеб. пособие / В. И. Бородин, В. А. Трухачева ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Петрозав. гос. ун-т. - Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2012. - 96 с. : ил. - Библиогр.: с. 95-96. - ISBN 978-5-8021-1352-3 : 75.00 р.
Барченко, Владимир Тимофеевич. Технологические вакуумно-дуговые источники плазмы / В. Т. Барченко, Н. З. Ветров, А. А. Лисенков ; Минобрнауки России, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - СПб. : ЛЭТИ, 2013. - 242 с. : ил. - Библиогр. в конце гл. - ISBN 978-5-7629-1366-9 : 230.00 р.
Дод.точки доступу: Ветров, Николай Захарович; Лисенков, Александр Аркадьевич
Примірників всього: 1 ХР (II) (1) Свободны: ХР (II) (1)
W 168-5/192
Ефремов, Александр Михайлович. Неравновесная плазма хлора : свойства и применение / А. М. Ефремов, В. И. Светцов. - М. : Физматлит, 2012. - 215 с. : ил. - (Фундаментальная и прикладная физика). - Библиогр. в конце докл. - ISBN 978-5-9221-1406-6 : 310.00 р.
Дод.точки доступу: Светцов, Владимир Иванович
Примірників всього: 1 ХР (II) (1) Свободны: ХР (II) (1)
S 143-8/12
Шаповалов, Виктор Иванович. Основы вакуумной и плазменной технологии. Взаимодействие частиц : конспект лекций / В. И. Шаповалов ; Минобрнауки России, С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - СПб. : Изд-во СПбГЭТУ, 2015. - 79 с. : ил. - Библиогр.: с. 77. - ISBN 978-5-7629-1609-7 : 80.00 р.
Примірників всього: 1 ХР (II) (1) Свободны: ХР (II) (1)
W 171-6/224
Пушкарев, Александр Иванович. Пучково-плазменные технологии обработки материалов : лаб. практикум / А. И. Пушкарев, Ю. И. Исакова ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Нац. исслед. Том. политехн. ун-т. - Томск : Изд-во Том. политехн. ун-та, 2014. - 194 с. : ил. - Библиогр.: с. 184-194. - ISBN 978-5-4387-0499-7 : 80.00 р.