Чернозубов, ЮрийСергеевич. Технология производства микроэлектронных изделий : [учеб. пособие] / Чернозубов Ю. С. ; [Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т)]. - М. : МИЭМ, 2010. - 216 с. : ил. ; 21 см. - Библиогр.: с. 214. - 130.00 р.
Чернозубов, ЮрийСергеевич. Технологическое оснащение и средства контроля в производстве микроэлектронных изделий : учеб. пособие для самостоят. работы студентов / Чернозубов Ю. С., Лемешко Н. В. ; Моск. гос. ин-т электроники и математики (техн. ун-т), Каф. "Радиоэлектрон. и телекоммуникац. устройства и системы". - Изд. 2-е, испр. и доп. - М. : МИЭМ, 2011. - 48 с. : ил. - Библиогр.: с. 48. - 500.00 р.